沈陽(yáng)無(wú)塵凈化工程沈陽(yáng)無(wú)塵凈化裝修沈陽(yáng)無(wú)塵室并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。
污染敏感零件不可能。在FED-STD-2里面,無(wú)塵室被定義為具備空氣過(guò)濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘?*。無(wú)塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。
如表所示,每立方米將小于0.5微米粒徑的數(shù)量控制在3500個(gè)以下,就達(dá)到了**無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的**。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于**,這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K**。
無(wú)塵室要有符合環(huán)境、無(wú)塵室內(nèi)部的清洗溶液及振動(dòng)、設(shè)備、空氣過(guò)濾系統(tǒng)的*久材料。而*久性,同時(shí)也依賴無(wú)塵室等級(jí)來(lái)建造。半導(dǎo)體Fabs傾向選擇鋁,基于它的*久性,,它不是便宜的物質(zhì)。
對(duì)C/R而言,其選擇地板的材料也是很重要的。低廉的C/R地板覆蓋著一層乙烯基在薄板上,若太硬的地板覆蓋會(huì)引起塵埃,而太軟的地板會(huì)造成地板彎曲甚致破裂,但并不是所有C/R的地板,都會(huì)覆蓋,乙烯基。有些地板是沖孔式、格子式,而全面層流都是沖孔式。
乙烯基有一作用即脫氧,但高濃度乙烯基與其它物若混合的話將會(huì)有減低脫氧的效果,而無(wú)塵室的墻若以鋁作為材料則將會(huì)非常昂貴,但鋁卻可以保護(hù)墻面不被空氣所氧化,可是卻易受酸性氣體的侵蝕,而避免的方法是使用電鍍,便鋁表面增厚,不易氧化,再在鋁表面上再涂上一層亮光漆即可防止金屬氧化。
對(duì)于工業(yè)而言,無(wú)塵室是一必要且不可缺之設(shè)備,其對(duì)空氣中的粒子要求非常之嚴(yán)格,故對(duì)口板、墻壁、地板的要求亦非常嚴(yán)格。地板是人員、臺(tái)車(chē)及重量的運(yùn)輸,而清除地板所用者大部分為消毒藥品及化學(xué)藥品,當(dāng)我們看見(jiàn)地板磨損時(shí),也就是使用期已太久,快破裂了,不僅會(huì)使得清靜度的降級(jí),也會(huì)因地板的磨損而發(fā)生空氣中粒子的增加。
另外,C/R**怕的就是粒子泄漏??诎逯械臑V網(wǎng)有很多種。例如層流式C/R而花板的組成組件包含了HEPA/ULPA濾網(wǎng)組燈光組亦有可能包含空白的嵌板,這類(lèi)型的口板優(yōu)點(diǎn)為,放置方式并沒(méi)有嚴(yán)格的限制。
C/R之墻壁還有一種是以薄鋼制成,但應(yīng)該在表層涂上一層保護(hù)層,否則亦會(huì)腐蝕,它并不容易電鍍,而在表層涂上的保護(hù)層會(huì)變得易碎,很容易剝落,但若選擇高質(zhì)量的不銹鋼,就不必涂上保護(hù)層7,而使用玻璃作的C/R會(huì)使得房間的光線大增,以及美觀,但應(yīng)該涂上一抗紫外線的障礙物,且可以視覺(jué)互通,較不會(huì)產(chǎn)生幽閉恐懼癥。
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